日本小金井精密不銹鋼調(diào)壓閥PRS系列液晶、半導體相關(guān)工序中的各種溶劑、純水線路中傳送氣體的壓力控制、噴氣壓力控制，潔凈空氣、氣體壓力控制等的高精度設(shè)定（感度0.001MPa）。

日本小金井精密不銹鋼調(diào)壓閥PRS系列

FRL （終端過濾器（精密過濾?減圧閥））

在線過濾器PLF系列 ●采用多孔中空絲膜濾芯，保證了同樣情況下平膜小芯10倍以上的接觸面積。
●過濾精度高、小型流量大、壽命長
●是適合于IC制造裝置等吹氣式終端過濾器 過濾精度 處理空氣量 配管連接口徑 0.01μm 50～100 l/min M5.Rc1/8

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