設備采用美國BROOKS公司所生產(chǎn)的流量計來對氣體流量實現(xiàn)精確控制,以保證每種氣體按照客戶的實驗要求所需流量,控制精度精準,能夠?qū)τ跉怏w起到混合作用,按照不同的混合比混合氣體
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