活性碳吸附法系利用高性能活性碳吸附(adsorbent) 固體本身的表面作用力，將VOC分子之吸附質(zhì)(adsorbate)吸引附著在吸附劑表面，以達到去除VOC物質(zhì)之目的。   活性碳吸附法在低濃度VOC條件下，可以理想地去除廢氣中揮發(fā)性有機物，同時有較佳的經(jīng)濟效益。故在空氣污染物控制方面，特別適用處理含低濃度VOC之廢氣，例如半導體廠、LCD廠、PCB廠與相關電子廠等。   依照吸附劑與吸附物質(zhì)問吸引力的不同，吸附法之機制包括有藉由物質(zhì)間凡得瓦爾力作用之物理吸附及利用產(chǎn)生化學鍵結合之化學作用。其中物理作用為一可逆現(xiàn)象，常被用來由改變壓力或溫度破壞此平衡，以再生吸附劑并回收吸附物質(zhì)，例如蒸氣再生、化學氧化再生、微波再生等；化學作用為高放熱反應且通常為不可逆反應。