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廣州譚美電子科技有限公司

主營:高真空磁控濺射設備,量測設備,涂膠顯影設備,PECVD設備,RIE/ICP/DRIE深刻蝕設備,電子掃描顯微鏡,快速退火,等離子去膠,等離子刻蝕,電子束蒸發(fā),濕法工藝設備
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[供應]Heatpulse 8108快速退火爐
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  • 產品產地:USA
  • 產品品牌:Heatpulse 8108快速退火爐
  • 包裝規(guī)格:Heatpulse 8108快速退火爐
  • 產品數(shù)量:0
  • 計量單位:臺
  • 產品單價:0
  • 更新日期:2013-12-17 08:01:42
  • 有效期至:2014-12-17
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Heatpulse 8108快速退火爐 詳細信息

Heatpulse 8108快速退火爐

原制造商:AG Associates               
設備類型:快速退火爐
AG Associates Heatpulse 8108系列快速退火系統(tǒng)具有成本低,適用面廣等優(yōu)點。是專門為半導體器件生產廠家快速退火工藝設計制造的退火系統(tǒng),被廣泛應用驗證。該系統(tǒng)采用自動傳片系統(tǒng),(Video)適用于標準硅片、復合半導體材料和其他材料的晶片,晶片尺寸可從3英寸到8英寸。操作簡便,自動化程度高,已廣泛應用在半導體制造產業(yè)。
優(yōu)越的工藝控制: 單片,閉環(huán)溫度控制; 快速升溫與降溫控制; 工藝重復性高; SLIP FREE 特殊晶片的自動載片系統(tǒng)和精確的溫度控制,SLIP RING可防止晶片結構在高溫狀態(tài)下邊緣(大于1150℃) 產生滑移 4組加熱燈可分別控制,提高溫場均勻性。 工藝用途: 離子注入后快速退火歐姆接觸快速合金; 硅化物合金退火; 氧化物生長; 其它快速熱處理工藝。

同管式高溫爐的比較:
一般管式高溫爐只能設定一個工藝條件,即一個溫度;工藝周期長,使用不太靈活;須24小時加電恒溫,能耗較高,適用于生產??焖偻嘶馉t,可以設定多個工藝條件,即多種溫度;工藝時間短,使用非常靈活;能耗很低;同一臺設備既可用作生產,也可用作科研,且任何科研工藝條件不會對生產工藝造成影響。

如果您有興趣,請郵件    聯(lián)系我們,我們會24小時內響應您的需求,謝謝!

 

廣州譚美電子科技有限公司(www.tanmytech.com)代理多家美、歐一流的半導體設備公司的產品,公司主要經(jīng)營高真空磁控濺射設備、量測設備、涂膠顯影設備、PECVD設備、RIE/ICP/DRIE深刻蝕設備、電子掃描顯微鏡、快速退火、等離子去膠、等離子刻蝕、電子束蒸發(fā)、濕法工藝設備。
我們擁有廣泛的采購網(wǎng)絡、強大的專業(yè)設備服務隊伍、先進的質量檢驗檢測手段和國際領先的軟件開發(fā)和升級技術,可為客戶提供各類進口半導體設備及備品備件、并提供長期優(yōu)質的售后服務及技術支持保障。通過技藝精湛的設備生產、翻新,保證我們的設備具有出色的運作表現(xiàn),能夠滿足客戶的多種需求,降低客戶的生產成本。
TanmyTech(www.tanmytech.com)致力于為客戶提供完善的服務與支持,以高質量的產品、優(yōu)質的服務、合理的價格來滿足各類客戶需求是我們一貫的經(jīng)營理念和宗旨,為中國半導體工業(yè)、微電子工業(yè)、航天航空、研究機構、高等院校、私營和合資企業(yè)提供優(yōu)質設備和售后服務,為廣大用戶提供高科技、高性價比產品,確保用戶核心利益,全力滿足用戶的需求,為他們提供專業(yè)的技術、專注的服務,共創(chuàng)雙贏互利的合作關系。


經(jīng)營產品:

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