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廣西南寧多貝實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司

主營(yíng):廣西無塵車間、廣西凈化車間/百色實(shí)驗(yàn)臺(tái)、柳州實(shí)驗(yàn)室家具、柳州實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)柜、
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[供應(yīng)]欽州潔凈室車間|欽州潔凈室車間裝修|欽州潔凈室車間公司
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  • 產(chǎn)品產(chǎn)地:廣西南寧
  • 產(chǎn)品品牌:定制
  • 包裝規(guī)格:定制
  • 產(chǎn)品數(shù)量:0
  • 計(jì)量單位:件
  • 產(chǎn)品單價(jià):0
  • 更新日期:2020-09-12 20:53:11
  • 有效期至:2020-10-13
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欽州潔凈室車間|欽州潔凈室車間裝修|欽州潔凈室車間公司 詳細(xì)信息

無塵車間潔凈度等級(jí)要求【行業(yè)應(yīng)用示例】 目前,潔凈車間已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制,由于各行各業(yè)的產(chǎn)品特性不同、各種產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝不相同,使用要求不同,因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容、指標(biāo)均不會(huì)相同。所謂無塵車間的環(huán)境控制的內(nèi)容應(yīng)該包括:空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動(dòng)、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無塵車間的設(shè)計(jì)不僅要求對(duì)室內(nèi)的空氣進(jìn)行凈化達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí),還必須防止因無塵車間的建造用材料、裝飾方式不當(dāng)帶來的污染,有的無塵車間還要求供給超純水、超純氣體和高純的化學(xué)品等。

 

1、半導(dǎo)體集成電路要求的空氣潔凈度等級(jí)

 

集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級(jí)主要取決于集成電路的集成度,不同工序的空氣潔凈度等級(jí)是依據(jù)可能污染的概率和對(duì)器件的潛在故障確定的。

 

舉例說明:

例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房,無塵車間設(shè)計(jì)按加工、生產(chǎn)6英寸硅片、1M集成電路,圖形特形尺雨1.0um,控制粒子粒徑0..1um.

無塵車間空氣潔凈度等級(jí)要求:

光刻、勻膠區(qū)         ISO3級(jí)

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等操作區(qū)   ISO3級(jí)

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維修區(qū)   ISO5級(jí)

 

例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房,無塵車間設(shè)計(jì)按加工、生產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um,控制粒子粒徑0.2um.

無塵車間空氣潔凈度等級(jí)要求:

光刻、勻膠區(qū)       ISO3級(jí)

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等操作區(qū) ISO4級(jí)

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維修區(qū) ISO6級(jí)

 

2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)

 

隨著信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展,許多電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細(xì)化,日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級(jí)和控制無塵車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量,目前國(guó)內(nèi)外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級(jí)或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定,各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔料以及無塵車間運(yùn)行的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)確定設(shè)計(jì)建造無塵車間的空氣潔凈度等級(jí)。

舉例說明:

例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用無塵車間,TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優(yōu)點(diǎn)。

各無塵車間空氣潔凈度等級(jí),控制粒子粒徑為0.3um

清洗、涂膠、曝光間    ISO4級(jí)

顯影、刻蝕間      ISO5級(jí)

成盒間       ISO5級(jí)

濺射、CVD間     ISO6級(jí)

 

例二、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠房、無塵車間控制微粒粒徑0.5um

各無塵車間的空氣潔凈度等級(jí)要求

涂布頭            ISO5級(jí)

備件、切帶、帶基、測(cè)試、涂布間和烘干、固化間  ISO6級(jí)

組裝、維修間和部分原料庫(kù)   ISO7級(jí)

砂磨、化驗(yàn)間和配件間     ISO8級(jí)

成品庫(kù)和部分原料庫(kù)      準(zhǔn)潔凈間

 

3、精密機(jī)械、精細(xì)化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)

 

例一、一個(gè)陀螺儀生產(chǎn)用無塵車間

無塵車間空氣潔凈度等級(jí)要求

裝配間      ISO 6級(jí)

軸承加工間      ISO 5級(jí)

 

例二、一個(gè)感光膠片生產(chǎn)用無塵車間

流延機(jī)頭部,涂布機(jī)頭部   ISO5級(jí)

涂布室,流延機(jī)室    ISO6級(jí)

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