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無錫市 誠宇冶金設備制造有限公司

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[供應]藍寶石爐銅環(huán)
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  • 更新日期:2014-10-23 20:56:53
  • 有效期至:2015-10-23
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藍寶石爐銅環(huán) 詳細信息

藍寶石爐銅電極的加工工藝: 
      ①鍛造藍寶石爐銅電極毛坯
          ②粗加工藍寶石爐銅電極毛坯
          ③加工中心加工寶石爐銅電極冷卻水槽;

    ④寶石爐銅電極精加工,形位尺寸;

    ⑤焊接寶石爐銅電極兩頭及電極桿;

    ⑥寶石爐銅電極漏水試驗;

    ⑦寶石爐銅電極表面鈍化處理;

    ⑧寶石爐銅電極二次漏水試驗;

          ⑨寶石爐銅電極合格成品木箱包裝出廠。

導電電極(走水電極、長晶爐主導電體)

是藍寶石長晶真空爐的重要部件之一,是爐內(nèi)加熱熱場與爐外電源的連接通道;在爐內(nèi)與熱場(鳥籠)直接搭接,延伸到爐外的導電柱通過導電夾、軟連接與電源柜連接。

該部件的結(jié)構(gòu)復雜,精度要求高,加工難度較大,主要體現(xiàn)在:

(1)導電柱與爐蓋的結(jié)合:

導電電極是在藍寶石長晶真空爐膛內(nèi),要穿過爐蓋與外部電源連接,所以電極4個導電柱之間的公差要求非常嚴格,要和爐蓋上的4個孔位距離完全一致。如有誤差將不能裝配。

(2)導電電極在加工過程中變形的問題:

電極是純銅原料加工而成,從原材料到成品,要經(jīng)過很多道工序,每道工序都會產(chǎn)生應力,故容易變形。尤其是在最后的焊接工序,因為焊接過程產(chǎn)生的熱量會使應力釋放,工件很可能會嚴重變形,精加工的所有公差尺寸都會受到影響,且無法調(diào)整。

(3)電機冷卻水的走水密封:

電極的截流能力遠大于導電要求,故導電電極自身不會發(fā)熱,但真空長晶爐內(nèi)雖有隔熱裝置還有較高的溫度傳導到電極。加熱熱場的電熱絲通過導電環(huán)會直接把熱量傳導到電極。所以電極必須要通水冷卻來保證電極的正常工作,真空長晶爐是高溫高真空的工作環(huán)境才能有效長出晶體。故對電極的主體與導電柱、走水槽、工藝孔堵頭部分的焊接有非常嚴格的要求。既不能因焊接降低導電率,又絕對不能有任何細微的滲漏,否則就達不到真空要求,長不出晶體。

我們通過與眾多科研單位的密切合作,參考多家國外公司先進產(chǎn)品的成功經(jīng)驗,利用國內(nèi)外的先進設備,攻破了各個環(huán)節(jié)上的技術(shù)難題,成功開發(fā)出了藍寶石長晶爐專用電極。




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