美國AALBORG質(zhì)量流量計
美國Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上著名的氣體質(zhì)量流量計/控制器的生產(chǎn)廠家,
其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點:性價比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護、備總量計數(shù)器
典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝 。
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