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Agilent B1500A 半導體器件分析儀
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Agilent B1500A 半導體器件分析儀

基于 Windows 的半導體器件表征儀器可通過直觀的觸摸屏界面執(zhí)行集成的 CV 和 IV 測量。 

主要特性與技術指標 
一般特性
·基于 PC 的儀器，具有 Windows ? XP Professional 操作系統(tǒng)
·針對電流－電壓（IV）、電容－電壓（CV）、脈沖生成、快速 IV和時域測量的綜合解決方案。
·用于電源監(jiān)測單元（SMU）和其他模塊類型（MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU）的 10 個模塊插槽
·通過 Desktop EasyEXPERT 軟件進行離線數據分析和應用測試開發(fā)


特性和優(yōu)勢

·優(yōu)異的 IV 測量性能：0.1 fA / 0.5 μV 測量分辨率
- 測量特性包括單通道和多通道掃描、時間采樣、列表掃描、準靜態(tài) CV（使用 SMU）、直接控制和針對 HV-SPGU 的任意線性波形生成（ALWG）GUI。
·可選的集成電容模塊支持高達 5 MHz 的 CV 測量
·基于定位器的可選 CV-IV 開關解決方案提供 0.5 μV 的電壓測量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 的電流測量分辨率能力
·使用內置半自動晶圓探頭驅動程序可輕松自動完成測試；在快速測試模式下，用戶無需編程即可排列測試順序
·可選的高電壓半導體脈沖發(fā)生器單元（HV-SPGU）具有 10 ns 的可編程脈沖寬度和 +/- 40 V（80 V 峰峰值）輸出
·可選的波形發(fā)生器/快速測量單元（WGFMU）提供 ALWG 和快速電流或電壓測量能力
·10 ns 脈沖 IV 解決方案，用于表征高 k 柵極電介質和 SOI（絕緣硅）晶體管
·典型測試模式可提供 4155/4156 界面的外觀、風格和術語，同時通過充分利用 Microsoft ? Windows ? GUI 特性可加強用戶交互

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