?機型\項目 TG—10-12 TG—14-16 TG—20-24 TG—26-30 TG—32-36 TG—36-40
鍍膜室規(guī)格 ?  ?
1300-1600*1500-1750mm ?
1400-1600*1600-2200mm ?
1500-1600*3500mm ?
1800-1900*3600mm ?
2000-2300*3600mm ?
2300-3000*3000-3600mm
極限真空度 ?  ≤7.6×10-4Pa
冷態(tài)抽真空時間 從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘 ? 
機組配置 ?  KT-600擴散泵機組 KT-630擴散泵機組 KT-800擴散泵機組 2套KT-800擴散泵機組 2套KT-1000擴散泵機組 2套KT-1000擴散泵機組
蒸發(fā)源配置 10 12 20 24 ?  32 ?  40 ? 
配電要求 ?  60KW 80KW 120KW 160KW 180KW 230KW
廠房要求 一層總高6.5米 一層總高6.5米 一層總高6.5米 二層總高9.2米 二層總高9.5米 一層400平方米