深圳眾誠達(dá)應(yīng)用材料科技有限公司生產(chǎn)銷售磁控濺射用的靶材。在濺射工藝中,等離子體不斷生成,同時(shí)離子受到電場的作用力,不斷的向靶材表面撞擊。
深圳眾誠達(dá)應(yīng)用材料科技有限公司生產(chǎn)銷售磁控濺射用的靶材。用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點(diǎn)火和濺射很方便。這是因?yàn)榘校帢O),等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。于是人們采用高頻電源,回路中加入很強(qiáng)的電容。這樣在絕緣回路中靶材成了一個(gè)電容。但高頻磁控濺射電源昂貴,濺射速率很小,同時(shí)接地技術(shù)很復(fù)雜,因而難大規(guī)模采用。為解決此問題,發(fā)明了磁控反應(yīng)濺射。就是用金屬靶,加入氬氣和反應(yīng)氣體如氮?dú)饣蜓鯕?。?dāng)金屬靶材撞向零件時(shí)由于能量轉(zhuǎn)化,與反應(yīng)氣體化合生成氮化物或氧化物。
深圳眾誠達(dá)應(yīng)用材料科技有限公司生產(chǎn)銷售的AZO靶材,AZO靶材屬于ZnO系薄膜材料,具有優(yōu)良的光學(xué)、電學(xué)性能。主要用于制備AZO薄膜,AZO薄膜是一種透明導(dǎo)電膜,具有與ITO薄膜相比擬的光學(xué)與電學(xué)特性,并具有制備工藝簡單、價(jià)格低、無毒與穩(wěn)定性好等特點(diǎn),在一種良好的導(dǎo)電薄膜材料。目前AZO靶材,廣泛應(yīng)用于薄膜太陽能電池、建筑玻璃、導(dǎo)電玻璃、電磁屏蔽、熱阻擋層等大面積鍍膜玻璃領(lǐng)域。
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