濕度越大,空氣中的水蒸汽越多,空氣的導(dǎo)電能力越強(qiáng),所以導(dǎo)走靜電本領(lǐng)也會(huì)增強(qiáng).空氣干燥則不易辦到。 一、靜電對(duì)電子廠電子元件的的危害是相當(dāng)大的! 一般來(lái)說(shuō),靜電具有高電位、強(qiáng)電場(chǎng)的特點(diǎn),在靜電起電-放電過(guò)程中,有時(shí)會(huì)形成瞬態(tài)大電流放電和電磁脈沖(EMP),產(chǎn)生頻譜很寬的電磁輻射場(chǎng)。另外,與常規(guī)電能量相比,靜電能量比較小,在自然起電-放電過(guò)程中,靜電放電(ESD)參數(shù)是不可控制的,是一種難于重復(fù)的隨機(jī)過(guò)程,因此它的作用往往被人們所忽視。尤其在微電子技術(shù)領(lǐng)域,它給我們?cè)斐傻奈:s是驚人的,據(jù)報(bào)道每年因靜電造成直接經(jīng)濟(jì)損失高達(dá)幾億元人民幣,靜電危害以成為發(fā)展微電子工業(yè)的重大障礙。 在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)車間,由于塵埃吸附在芯片上,IC尤其是超大規(guī)模集成電路(VLSI)的成品率會(huì)大大下降?!? IC生產(chǎn)車間操作人員都穿潔凈工作服,若人體帶靜電,則極易吸附塵埃、污物等,若這些塵埃、污物被帶到操作現(xiàn)場(chǎng)的話,將影響產(chǎn)品質(zhì)量,惡化產(chǎn)品性能、大大降低Ic成品率。如果吸附的灰塵粒子的半徑大于100μm線條寬度約100μm時(shí),薄膜厚度在50μm下時(shí),則最易使產(chǎn)品報(bào)廢。 再次,靜電對(duì)IC的損害具有一定的特點(diǎn)?!? (1)隱蔽性 除非發(fā)生靜電放電,人體不能直接感知靜電,但發(fā)生靜電放電人體也不一定能有電擊的感覺(jué),這是因?yàn)槿梭w感知的靜電放電電壓為2~3kv,所以靜電具有隱蔽性?!? (2)潛在性 有些匯受到靜電損傷后的性能沒(méi)有明顯的下降,但多次累加放電會(huì)給IC器件造成內(nèi)傷而形成隱患。因此靜電對(duì)IC的損傷具有潛在性?!? (3)隨機(jī)性 ?。桑檬裁辞闆r下會(huì)遭受靜電破壞呢?可以這么說(shuō),從一個(gè)IC芯片產(chǎn)生以后一直到它損壞以前,所有的過(guò)程都受到靜電的威脅,而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機(jī)性,其損壞也具有隨機(jī)性。 (4)復(fù)雜性 靜電放電損傷的失效分析工作,因微電子IC產(chǎn)品的精、細(xì)、微小的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而費(fèi)時(shí)、費(fèi)事、費(fèi)財(cái),要求較高的技術(shù)并往往需要使用高度精密儀器,即使如此,有些靜電損傷現(xiàn)象也難以與其它原因造成的損傷加以區(qū)別;使人誤把靜電放電損傷的失效當(dāng)作其它失效,這在對(duì)靜電放電損害未充分認(rèn)識(shí)之前,常常歸因于早期失效或情況不明的失效,從而不自覺(jué)地掩蓋了失效的真正原因。所以分析靜電對(duì)IC的損傷具有復(fù)雜性 二:如何解決靜電 在車間設(shè)備以及員工設(shè)施,做好防靜電工作的同時(shí),應(yīng)對(duì)空氣進(jìn)行加濕,保持空氣濕度。電子廠房一般都是很干燥的,尤其是秋冬季節(jié)。 小編推薦瑞通祥干霧寶加濕器RTX---AW10。既能有效的對(duì)空氣進(jìn)行加濕,趕走靜電。又不會(huì)滴水,不會(huì)對(duì)電子元件造成損壞。而且節(jié)能高效省時(shí)省力。是國(guó)內(nèi)目前大部分電子廠都要安裝的一款加濕器。
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