適用于：2-6寸晶圓清洗 產(chǎn)品規(guī)格 控制模式：半自動控制（工件搬運為手動操作，工藝參數(shù)控制過程為自動） 整機(jī)尺寸：約1400mm（L）×1200mm(W)×1800mm(H) 操作臺面高度：850±20mm 工件：2-6英寸晶圓 產(chǎn)能：25片/槽 可按客戶產(chǎn)能需求設(shè)計 電源：380V 三相五線制，50HZ，5KW 純水：CL-PVC 進(jìn)口DN25 管徑，0.2～0.3 MPa 壓力，用量MAX:2m3/h 抽風(fēng)口：φ200*1 抽風(fēng)量MAX: 900m3/h ，風(fēng)量口裝有蝶閥，可手動調(diào)節(jié) CDA: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm，用量MAX:0.5m3/h N2: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm，用量MAX:2m3/h 設(shè)備特點： 1.LED清洗設(shè)備骨架：國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)SUS304 骨架外包； 2. LED清洗設(shè)備外殼：2mm 厚SUS304 鏡面板折彎焊接而成； 3. LED清洗設(shè)備臺面：2mm 厚SUS304 鏡面板 4. LED清洗設(shè)備采用10.4英寸“PROFACE”觸摸屏人機(jī)界面操作和“三菱”PLC控制； 5. LED清洗設(shè)備槽體設(shè)置溫度、液位監(jiān)控裝置； 6.LED清洗設(shè)備 藥液槽配透明槽蓋，有效防止藥液揮發(fā)，污染； 7.LED清洗設(shè)備清洗區(qū)域配有高效過濾器，無二次污染機(jī)會； 8. 用戶操作人員上料后，全過程自動化控制，減少人工干預(yù)。設(shè)備具有自動化程度高、運行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點； 9.LED清洗設(shè)備安全性能高，設(shè)備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴(yán)格的設(shè)計，確保人身和廠務(wù)安全；