1、 結(jié)構(gòu)原理單晶硅諧振傳感器的核心部分，即在一單晶硅芯片上采用微電子機械加工技術(shù)（羅斯蒙特導(dǎo)播雷達(dá)液位計MEMS），分別在其表面的中心和邊緣作成兩個形狀、大小完全一致的H形狀的諧振梁（H型狀諧振器有兩個振梁），且處于羅斯蒙特導(dǎo)播雷達(dá)液位計微型真空腔中，使其即不與充灌液接觸，羅斯蒙特變送器又確保振動時不受空氣阻尼的影響。 

  2、 諧振梁振動原理 硅諧振梁處于由永久磁鐵提供的磁場中，與變壓器、放大器等組成一正反饋回路，讓諧振梁在回路中產(chǎn)生振蕩。 

  3、 受力情況 當(dāng)單晶硅片的上下表面受到壓力并形成壓力差時將產(chǎn)生形變，中心處受至壓縮力，邊緣處受到張力，因而兩個形狀振梁分別感受羅斯蒙特差壓變送器不同應(yīng)羅斯蒙特導(dǎo)播雷達(dá)液位計變作用，其結(jié)果是中心諧振梁受壓縮力而頻減少，邊側(cè)諧振梁因受張力而頻率之差對應(yīng)不同的壓力信號。