三坐標(biāo)測量儀是指在一個六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，簡稱三次元。
    三坐標(biāo)測量儀可定義為一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導(dǎo)軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸的位移測量系統(tǒng) 經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機等計算出工件的各點坐標(biāo)
及各項功能的測量儀器。三坐標(biāo)測量儀的測量功能應(yīng)包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。

    為使三坐標(biāo)測量儀保持穩(wěn)固，在設(shè)計過程中，一般通過提高結(jié)構(gòu)部件的橫截面、加大空氣軸承的距離、提高電機的驅(qū)動力量、基于重量和溫度性能優(yōu)化選擇結(jié)構(gòu)的材料來增加質(zhì)量和剛性，提高測量精度、重復(fù)性及測量速度、加速度。這些原理也應(yīng)用到一些水平式車間型坐標(biāo)測量機上，這種系統(tǒng)把水平式測量機的靈活性和垂直式設(shè)計的高精度結(jié)合在一起。

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